Author: "HEUBERGER, ANTON (HRSG.)
Title: Mikromechanik. Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie
Description: Spublisher, "1989. Springer, Berlin, 1989. XVII, 501 Seiten mit 285 Abbildungen, Pappband, (Bibliotheksexemplar) Einband: "Leineneinband. 1115

Keywords: "Technik